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一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号

CN109440112A

(43)申请公布日 2019.03.08(21)申请号CN201910034249.7

(22)申请日2019.01.15

(71)申请人广州德雅新环境科技有限公司

地址523000 广东省广州市白云区石井街聚源街50号4#栋3A层3A06-A16A (72)发明人苗润昌

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法

(57)摘要

本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生方

法,包括以下步骤:(1)预制酸性蚀刻液循环再生

系统;(2)由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废

液桶中,废液桶中的蚀刻废液通过自动检测添加

方式添加至离子膜电解循环装置中;(3)由离子膜

电解循环装置对蚀刻废液进行电解产生再生液与

单质铜,再生液储存于再生液桶中,单质铜由铜

板的形式移出;(4)分别将氧化剂、盐酸、及储存

于再生液桶中的再生液加入到再生液调配监控装

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