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文件名称
砷化镓基 LED外延片外观检验标准 工艺代号//
文件编号 HL/DN-23-01-001-1.1生效日期替代版本
产品型号或材料代号
1目的为了有效直观判定外延片外观等级，指导外延外观检验作业，规范检验标准。 2适用范围适用于外延片入库前的外观检验。 3使用工具卤素灯、 PL及显微镜 4作业内容 4.1检验方法先使用强光灯具下目视有无白点之后；在由 50倍显微镜下，透过显示屏观察表面外观(请参考显微镜操作手册)。 4.2检验频度：外延全检；品质人员每炉抽四片，内外圈各两片进行检验。 4.3单片外观判定标准 4.3.1有效面积定义：除边缘 5mm外。 4.3.2外延片外观等级判定如下表所示， A等级为合格品， B等级为 Y品， C等级为 F品(报废片,未符合 A及 B等级则判定为 C等级)。
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