学海网 文档下载 文档下载导航
设为首页 | 加入收藏
搜索 请输入内容:  
 导航当前位置: 文档下载 > 所有分类 > 工程科技 > 能源/化工 > 多晶硅还原炉倒棒原因

多晶硅还原炉倒棒原因

多晶硅还原炉倒棒原因

1引言

多晶硅是制造集成电路衬底、太阳能电池等产品的主要原料。多晶硅可以用于制备单晶硅,其深加工产品广泛用于半导体工业中,作为人工智能、自动控制、信息处理、光硅转换等器件的基础材料。同时,由于能源危机和环境保护的要求,全球正积极开发利用可再生能源。太阳能因其清洁、安全、资源丰富,是可再生能源中最引人关注的。利用太阳能的一种主要方法就是通过光电压效应将太阳能转化为电能,硅太阳能电池即是基于光电压效应的装置,由于半导体工业和太阳能电池的发展,高纯度多晶硅的需求不断增加。

目前国际上多晶硅生产工艺主要有改良西门子法和硅烷法,其中70%以上采用改良西门子法。改良西门子法能兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺。

西门子法通过气相沉积法生产柱状多晶硅,为提高原料利用率和环境友好,改良西门子法在西门子法的基础上采用了闭环式生产工艺,该工艺将工业硅合成SiHCl3,再让SiHCl3在H2气氛下在还原炉中还原沉积得到多晶硅,多晶硅还原炉排出的尾气H2、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4和HCl经过分离后再循环利用。国内多晶硅生产基本都实现了闭环工艺,生产多晶硅的能耗和成本大幅度降低[2],促使多晶硅迅速火爆发展起来。

2 多晶硅还原炉

多晶硅还原炉是西门子法生产多晶硅的核心设备之一,其基本结构如图1所示。 多晶硅还原炉由底盘、混合气体进气管、混合尾气出气管、炉体冷却水进水管。炉体冷却水出水管、钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管(另外视孔一般还有冷却水设备,因为视孔一般是石英玻璃也需要冷却,还有一根视孔氢的管道吹扫视孔不然SI也要沉积在上面影响视镜的功能)以及其他附属部件组成,为减少设备材质对产品的污染,还原炉体采用306L不锈钢材料制成,每对还原电极分正、负极均匀设置在底盘上,混合气体进气管分为多个喷口均匀设置在底盘上,混合气体尾气的出气口设置在底盘中心位置。

多晶硅还原炉内部所发生的反应主要是:一定比例的氢气和高纯三氯氢硅气体在特定压力下通入多晶硅还原炉内,在直径为3~5mm、长度2.0~2.8m的导电硅棒上进行气相沉积反应生成多晶硅,还原电极温度(电极温度一般只有35-45℃,炉体中间的电极一般要高一点,一般我们是通过在视镜外面安装一个红外线测温仪,测硅棒的温度,在1000-1100度左右,这个温度就是反应温度,如果工艺控制不好视镜有时候会花掉,就可以根据炉内硅棒的颜色来判断反应的温度)控制在1000~1100℃,经过一定时间后,生成直径约200mm(应该没有这么粗,我们一般110-150,200的话一根2.5m的硅棒可能有400-500公斤,取的时候不安全)

第1页

TOP相关主题

  • 多晶硅铸锭炉
  • 多晶硅拆棒机械手
  • 多晶硅短棒的粘接
  • 多晶硅拆棒机械手问世
  • 还原炉
  • 金属镁还原炉
  • 还原炉无定形硅
  • 氢气还原炉

我要评论

相关文档

  • 多晶硅还原炉倒棒原因

    多晶硅还原炉倒棒原因_能源/化工_工程科技_专业资料。多晶硅放字字资料? 多晶硅还原炉倒棒原因 1 引言 多晶硅是制造集成电路衬底、太阳能电池等产品的主要原料。多...

  • 多晶硅倒炉原因分析

    多晶硅倒炉原因 多晶硅倒炉原因 1、硅芯前期处理时(搬运、磨锥、刻槽、装炉)...( k# C9 i2 _3 h' y 7、运行中倒棒很多时候是与工艺和还原炉设计有关...

  • 多晶硅倒棒原因分析

    倒棒原因很多,但开车时倒棒的原因:1、硅芯本身就本有装好,2、预热时不小心...要防止倒棒, 最根本的措施就是严格控制温度, 不要超过 1150 度 多晶硅还原炉...

  • 多晶硅还原炉内的八大反应

    多晶硅还原炉内的八大反应_能源/化工_工程科技_专业资料。多晶硅生产... 多晶硅还原炉的电器设备 7页 3下载券 多晶硅还原炉倒棒原因 7页 1下载券...

  • 【论文】多晶硅还原炉接地故障预防措施

    多晶硅还原炉接地故障预防措施_电力/水利_工程科技_专业资料。捌_ 4_璺_ 2 唇一 中国化 工贸易 China Chemical Trade 壬~ 篓堡奎 多晶硅还原炉接地故障预 ...

  • 【论文】西门子法多晶硅还原炉气相沉积反应探讨

    西门子法多晶硅还原炉气相沉积反应探讨_专业资料。自西门子公司在20世纪50年代发明了采用提纯的三氯氢硅(SiHCl3)在氢气(H2)气氛下在加热的硅芯表面反应沉积多晶硅...

  • 多晶硅制备还原工艺的分析与优化

    三氯氢硅氢还原制备高纯多... 24页 免费 多晶硅还原沉积优化研究 4页 2财富值 太阳能级多晶硅生产工艺研... 57页 免费 多晶硅还原炉倒棒原因探讨 5页 5...

  • 多晶硅还原生产常见问题及控制措

    1.8倒棒问题 6 某还原炉前期倒棒 图8 倒棒问题是多晶硅生产中常见的现象, 尤其是前期倒棒, 更换硅芯及反复拆装炉十分麻烦。 1) 产生原因: 前期倒棒大多...

  • 多晶硅还原炉的电器设备

    1.2还原炉生产多晶硅 近年来,国内大规模多晶硅生产,还原设备 芝 多采用12对棒... 多晶硅还原炉倒棒原因 7页 1下载券喜欢此文档的还喜欢 三氯氢硅氢还原制备...

  • 多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案

    由于诸多原因使硅的沉积速度 较慢,一般不超过 0.5mm/h,生产直径为 150~200...这里主要介绍基于 12 对棒的多晶硅还原炉 电源系统的一体化解决方案,系统构成如...

站点地图 | 文档上传 | 侵权投诉 | 手机版
新浪认证  诚信网站  绿色网站  可信网站   非经营性网站备案
本站所有资源均来自互联网,本站只负责收集和整理,均不承担任何法律责任,如有侵权等其它行为请联系我们.
文档下载 Copyright 2013 doc.xuehai.net All Rights Reserved.  email
返回顶部