当前位置： 文档下载 > 所有分类 > 工程科技 > 机械/仪表 > IC芯片机械手结构2 IC芯片机械手结构
本设计自动化机械手由XY轴直线导轨组、Z&PITCHER滚珠丝杆副等机械部分组成。主要作用是完成IC芯片的吸放,机械手移动吸起和放下芯片到设定的位置,完成芯片的测试工作。这种机械手的主要作用是上下料，这里的料是IC芯片，在运动的过程中，把IC芯片放在设定的位置，完成好操作。这种机械手也叫Pick and Place。机械手对位置的精确要求较高，控制信号要求比较稳定。机械手的控制主要是电动和气动。电动使马达带动直线导轨组XY两个方向移动（其中X方向为线性马达，Y方向为伺服马达）移动到合适的位置。
Z方向是电动马达和气缸有机的组合完成机械手的吸放料操作，马达控制整个装配体的上下动作，每个气缸则可以单独的控制每个吸头的上下，真空发生器产生真空和吹气，用来吸起芯片和放下芯片。机械手对机械移动位置精确度要求较高，位置不准确，芯片吸起放下的位置不理想，容易损坏芯片。机械手对气路的要求很高，真空和吹气的大小直接影响芯片能否及时的吸起和放下。
由于生产工艺和制程的不断发展，IC芯片的线宽由原来的56nm---43nm---32nm,从而使得IC芯片所能够承受的外在物理负载（20N）越来越小，从而对机械手的要求更加的苛刻，维持必要的机械缓冲成为必要，详见(图2－1)Pitcher Cylinder ASSY。
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