几种热阴极电离真空计电参数校准及分析

通过真空比对标准装置及电参数测量系统,对目前较为常用的ZJ-27,ZJ-12,ZJ-10,ZJ-2等四种热阴极电离真空计进行电参数校准。通过对实验数据的分析,验证了该套装置及方法校准热阴极电离真空计电参数的可行性。

第 1 8卷第 2期 21 02年 0 6月

真空与低温 Va u m& Cy gnc cu roe is 1 01

几种热阴极电离真空计电参数校准及分析 刘波丁立莉刘卿曹慧 ,,, (. 1西安航天计量测试研究所，陕西西安 7 0 0; 1 1 0

2中国航空工业第一集团公司西安飞行自动控制研究所， .陕西西安 7 0 6 ) 10 5 摘要：通过真空比对标准装置及电参数测量系统，目前较为常用的 z一 7,J 1,卜 1,J 2等四种热阴对 J2 z一 2z 0Z一

极电离真空计进行电参数校准。通过对实验数据的分析，验证了该套装置及方法校准热阴极电离真空计电参数的 可行性。

关键词：热阴极电离真空计；电参数；真空比对标准装置 中图分类号：4 2 1 0 6 .文献标识码： A文章编号： 0— 0 6 2 1 )2 0 0 - 6 1 6 7 8 (0 2 0 - 1 1 0 0 DOI 0. 9 9 .s n 1 0 7 8 . 0 2 0 . 0 :1 3 6/i i . 0 6— 0 6 2 1 . 2 0 7 s

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AND ANALYS S OF ELECTRI I CAL PARAM ETERS

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1引言

热阴极电离真空计是目前测量高真空的主要仪器，随着高真空测量技术的发展，阴极电离真空计由于热

其测量范围宽，抗污染能力强，使用成本低等有点，被各厂、、、矿院所及军工企事业单位使用。为了确保真空测量结果的准确可靠，国家质量监督局规定：建议电离真空计的校准时间间隔周期为一年，这样就对校准电离真空计的单位提出了严格的要求，求确保校准的严肃性与公正性，证量值的准确传递。同时对计量标要保 准器具也作出了同样严格的要求，必须依据国家相应的检定规程或校准规范进行检定或校准。 我国现在施行的《电离真空计校准规范》J16— 9 9中明文规定， JF0 2 19…电离真空计的校准首先应对其外观及电路电参数进行校准。在电路电参数校准方面，现有的各级校准机构依据使用设备的不同对其校准的方法也不尽相同。运用真空比对标准装置及电参数测量系统对几种热阴极电离真空计进行校准，了保证为

校准的可靠性，对热阴极电离计测量和使用中应注意的问题进行认真研究，通过分析其测量结果的准确性来判断该套装置及方法的可行性。 2工作原理

热阴极电离真空计的工作原理是当阴极发射出的电子在加速场的作用下飞向栅极，一部分电子打到有栅极被吸收，一部分电子穿过栅极，与气体分子发生碰撞，另并由于碰撞的过程中电子的动能大到电子的脱

收稿日期：020—2 2

1-31 .

作者简介：刘波 (9 7)男， 17一，陕西省西安市人，工程师，从事真空计量测试与研究工作。

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