微米级圆孔孔径的光电检测

微米级圆孔孔径的光电检测

微米级圆孔孔径的光电检测

张成云;刘佐濂;程朗;马浩;周斌

【摘要】工业生产中经常需要测量微米级圆孔孔径的大小.基于圆孔的夫琅禾费衍射原理,激光经过圆孔衍射在接收屏上形成圆环型条纹分布,孔径改变时,艾里斑区域的激光能量密度随之改变,利用光电池作为光电探测器,只接收大部分艾里斑中心光强信号而屏蔽其他高级次的衍射亮环,光电池输出的电压值反应了孔径直径大小.单片机作为控制系统,采用双光路的光电检测方法,搭建了检测系统.利用已知孔径的圆孔标定系统后,获得电压信号与孔径大小的对应关系,通过拟合可以得到检测系统的函数关系式.实验表明,可以实现50～300μm孔径大小的检测.

【期刊名称】《大学物理》

【年(卷),期】2017(036)011

【总页数】4页(P38-40,44)

【关键词】微米孔径;圆孔衍射;光电检测;双光路;激光

【作者】张成云;刘佐濂;程朗;马浩;周斌

【作者单位】广州大学物理与电子工程学院,广东广州510006;广州大学物理与电子工程学院,广东广州510006;广州大学物理与电子工程学院,广东广州510006;广州大学物理与电子工程学院,广东广州510006;广州大学物理与电子工程学院,广东广州510006

【正文语种】中文

【中图分类】TP216;TN29

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